製品情報

サーマルキューブは空気の温湿度を精密にコントロールする空調ユニットで、液晶・半導体・電子部品の製造工程や様々な分野における微細加工・計測用途等で求められる特殊な空調環境の実現に寄与しています。

特徴

省エネ
従来機比において圧倒的省エネを実現し、ランニングコスト削減に貢献いたします。
提案力
クリーンルームシステムにおいて蓄積された技術力とノウハウを活かし、最適空間を実現する空調ユニットを提案致します。
豊富なスペック
性能・風量・水冷・空冷等、豊富な商品ラインナップにより、様々な用途に応じた空調環境の最適化を実現します。

温度変化による影響

1℃温度が変化すると100mmのスチールブロックの場合、約1μm伸縮します。
サブミクロンの加工精度が求められる昨今では、精密温度管理が無くてはならないものになります。
右表に様々な用途に使用される素材の線膨張率と伸縮量を示します。(伸縮量の計算は下式より)

アプリケーション例

超精密加工
ナノオーダーの加工を行う工作機械の周囲温度を安定させることにより、機械本体と加工物の熱収縮による精度のばらつきを防ぎます
超精密測定・計測
精密測定に不可欠な測定物と測定器本体のまわりの温度を一定にすることにより測定精度の向上を実現します。
露 光
光源とターゲットの冷却を行うことにより、露光機内の温度むらによる光の屈折を防ぎ、露光品質の向上を実現します
塗 布
半導体、液晶、基板などの各種溶剤塗布部の温湿度を精密に管理することにより、膜厚の安定を実現します。
マスク描画
電子ビームの温度むらによる屈折と、マスク基板の伸縮を、温湿度を一定にすることにより防ぎ、描画品質の向上を実現します。
基板(LCD/PDP/PWB)の印刷
印刷機周囲の温湿度を一定に保つことによりインクの粘度、揮発量を安定させ、品質向上を実現します。
電池・化学材料の製造・保管・開発
吸湿による材料の変質、酸化、膨張を防ぎ、電池や化学材料の品質安定に貢献します。