IT・ハイテク産業における加工・測定や塗布・描画・露光などの工程では、製品のさらなるハイエンド化にともない、温・湿度環境の変化がその品質に多大な影響を及ぼします。
「NS THERMAL CUBE／NSサーマルキューブ」は、こうしたシビアな温・湿度管理が要求されるお客様の開発・量産の現場で多数の導入実績を誇る、精密空調ユニット＆恒温ブースです。一般の空調システムでは実現できない、極めて安定した恒温・恒湿環境を実現し、製品の品質や性能の向上、歩留まりの改善に大きく貢献します。
極めて高精度な温度制御
NS THERMAL CUBE／NSサーマルキューブ
対応工程・対応機器例
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半導体・電子部品
- 工程：
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- ○露光装置、描画装置、レーザー微細加工機、塗布装置を用いる各工程および基板印刷
- ○超精密測定・計測・解析・検査
- ○部品・材料の保管およびエージング工程
- 機器：
- ○電子顕微鏡、表面検査装置、レーザー測定器 等
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精密部品・金型
- 工程：
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- ○ナノ加工機、超精密加工機を用いる各工程
- ○超精密測定・計測
- ○部品・材料の保管およびエージング工程
- 機器：
- ○マシニングセンター、放電加工機、平面研削盤 等
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電子材料
- 工程：
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- ○分析・解析・検査
- ○製品・材料の保管用途およびエージング工程
- 機器：
- ○電子顕微鏡、画面測定器、レーザー測定器 等
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医薬・食品 等
- 工程：
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- ○分析・解析・検査
- ○製品・材料の保管およびエージング工程
- 機器：
- ○電子顕微鏡、分析装置 等
温湿度制御グラフ
設定温湿度：23℃±0.1℃ 55％±2％ を満足しています。
目的に合わせた空間設計
対象空間内での多点における温度安定性や気流シミュレーション、ワークポイントでの温度制御まで、
恒温空間の目的や用途に合わせた様々な設計検討が可能です。
空間温度分布グラフ
より高精度な温度管理をご検討される方へ
「気流シミュレーション」サービスや温度制御システム「ATCシステム」を別途ご用意しています。
より高精度な恒温環境の構築にお役立てください。
気流シミュレーション
ワークポイントを含むブース内部の気流を3次元で解析し、目には見えない対象空間内の状態を可視化します。
※事前にご要望をいただいた場合のオプションでのご対応になります。
ワークポイントにおける温度制御システム
ATCシステム（アクティブサーモコントロールシステム）
温度精度が最も必要とされるワークポイントでの制御を行うための弊社独自の技術です。
この技術を用いることにより、外乱やブース内部の発熱等の影響を最小限に抑制できます。
豊富なブースバリエーション
NS THERMAL CUBE／NSサーマルキューブ は対象エリアを囲うブースと精密空調ユニットを組み合わせて構築します。
さまざまな用途・環境に対応できる、多種多様なブースをラインナップしています。
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簡易ブースタイプ
軽量・簡易構造のブース
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標準ブースタイプ
均一な温度分布。
高清浄度も実現可能 -
各種パネルタイプ
外部環境の影響を抑える断熱パネルや鋼板製・アルミ製など、各種パネルで構築可能
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伸縮可能タイプ
ブース自体の移動・折り畳みが可能。
必要な時に恒温環境を実現
納入事例
NS THERMAL CUBE／NSサーマルキューブ は精密加工や精密測定、半導体製造など、
シビアな恒温・恒湿環境が要求されるシーンで、多数のお客様から高い評価の声をいただいています。
ビニール構造の恒温ブースを初めて導入したが、設置工事は数日で終了。手軽に恒温環境が実現し、装置の立ち上げもスムーズに完了した。
精密加工機ユーザー様
初めて導入する精密な装置で周囲環境づくりに不安があったが、類似実績を基に提案してもらい、安心して任せられた。
微細描画装置ユーザー様
恒温室納入後もエリア拡張や移設などに適宜対応してもらい、装置の増設や移設がスムーズに実施できた。
精密測定機ユーザー様
温度だけでなく騒音・振動にも配慮された空間設計により、装置の性能を最大限に発揮できた。
ナノ加工機ユーザー様
空気揺らぎの抑制と精密温調が両立され、これ以上ない環境で装置を使用できている。
電子顕微鏡ユーザー様
他社からは断熱パネルでの施工を提案されていたが、カーテンタイプのブースの提案によって、装置のメンテナンスがしやすく、使い勝手の良い恒温環境を整えることができた。
電子部品製造ユーザー様
よくあるご質問
- 装置カバー内の温度管理を行いたいが、空調ユニット単体の導入も可能？
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単体でのご提供も可能です。
装置への空調機セット納入の実績も多数ございます。
装置カバー内部の空間に応じ、最適なご提案をさせていただきます。
- 50㎡を超える大空間でも±0.5℃レベルの恒温化は可能？
- 可能です。装置の配置や動線も考慮し、大空間の恒温環境を実現いたします。
- 高精度な測定器を導入したが、周囲環境が悪く精度が出ない。
装置設置後の恒温化にも対応できる？ - 対応できます。現状の機器レイアウトや周囲環境も加味してご提案させていただきます。
- 小空間の恒温化を検討中だが、どれくらいのサイズから対応できる？
- 最小で1m四方ほどのサイズから提供が可能です。まずはお気軽にお問い合わせください。