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精密温調装置サーマルキューブ

NSサーマルキューブの特徴

省エネ

独自の冷媒レヒート方式により電気ヒーター不要の省エネタイプがございます。
>>省エネ

省エネ

高精度温調が可能

標準品は常温帯で±0.5℃、0.1℃、湿度±2℃、5%の制御が可能です。またさらに超高精度タイプとして2/100℃の制御が可能です。

高精度温調が可能


様々なニーズに対応

省エネ型、高精度型、低湿度型、大風量型など多様な仕様でラインアップしていますので、様々な用途に対応可能です。

低様々なニーズに対応

豊富なアプリケーション例

簡易なビニールカーテン方式や、断熱パネル。また装置連動の自動シャッター搭載型など対象設備や精度に対応した間仕切りを提供可能です。

豊富なアプリケーション例


気流・温度分布シミュレーション

様々な条件において信頼性の高い設計を行うために気流解析を行い、最適なシステムをご提案いたします。

気流・温度分布シミュレーション


NSサーマルキューブは精密に温度・湿度を制御した空気を供給するユニットで、さまざまな加工プロセスでお使いいただけます。例えば、半導体・液晶の製造工程における露光、塗布、検査・測定装置にご使用いただくことにより、基板の伸縮の防止、薬液塗布時の膜厚の均一化に有効です。また、昨今、工作機械を使用する場面において超精密化が進んでおり、ナノメートルオーダーの加工精度を実現するには、精密温度制御エアを用い機械・ワークの伸縮を防止することが不可欠となっております。サーマルキューブは、これからの高品質・高付加価値が求められる製造現場では必須のアイテムとなっております。

 

日本スピンドル製造株式会社
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