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清浄度や温湿度の高精度な制御を狭い空間で実現したい
  • サービス1 研究開発設備のクリーン化
  • サービス2 研究開発設備の精密温調
  • サービス3 研究開発設備周囲の低湿

サービス1

研究開発設備のクリーン化


サービス1 研究開発設備のクリーン化

あらゆる形状の局所クリーン化が可能

高清浄度を既設で局所的に、クリーンブースやクリーンベンチにて対応。圧空やアースなどのターミナルもコンパクトに内蔵可能。


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サービス2

研究開発設備の精密温調


サービス2 研究開発設備の精密温調

研究開発空間の温度、湿度を高精度に制御

精密加工、測定、露光、塗布などで必要な温度、湿度の高精度な制御をブース形状で実現可能。


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サービス3

研究開発設備周囲の低湿度化


サービス2 研究開発設備の精密温調

二次電池製造装置や製薬装置、電子材料関連装置内を
低湿化

水分が致命的となる各種製造工程用装置内の低湿化を最大で露点−60℃まで実現いたします。ブース形式、チャンバー形式といった周囲まで設計製作します。


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